マイクロナノマシニング

摩擦のない超高精度電磁駆動パターンジェネレータ、オングストロームレベルの測定が
可能な光干渉測距法などの成果をもとにナノレベルの機械・加工技術を開発しています。
多機能能動カテーテルや機械量センサーなど、センサやアクチュエータ及び回路などの
多数の異なる要素からなる小さな機械（マイクロ・ナノマシン）を実現しています。